產(chǎn)品說(shuō)明

POLOS 450 Advanced 單基片旋轉(zhuǎn)處理機(jī)，臺(tái)式版本，配備 NPP 外殼、旋轉(zhuǎn)杯、手動(dòng)化學(xué)品分配裝置及重型電機(jī)。空氣動(dòng)力學(xué)高效腔體可提高均勻性，而天然聚丙烯或不銹鋼工藝腔室能確保工藝區(qū)域無(wú)污染且易于清潔。所有設(shè)備均具備可編程的順時(shí)針和逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)功能以及積液功能。

適用于干燥、沖洗 / 清潔及自動(dòng)涂布工藝。

規(guī)格參數(shù)：

• 可處理最大基片尺寸：圓形基片直徑 500 毫米，方形基片 350×350 毫米

• 材質(zhì)：天然聚丙烯（高等級(jí) NPP，設(shè)備主體及所有接觸液體的表面）

• 配置：手動(dòng)化學(xué)品分配裝置、2 條自動(dòng)靜態(tài)分配管路

• 蓋體：氣動(dòng)開(kāi)啟與關(guān)閉

• 吸盤(pán)配件：含 1 個(gè)真空吸盤(pán)，可適配最多 3 種晶圓尺寸

• 最大轉(zhuǎn)速：1500 轉(zhuǎn) / 分鐘

• 化學(xué)品分配方式：可自動(dòng)順序分配或并行分配

• 透明蓋體：中心周圍配備 6 組噴射器組件（每組均可獨(dú)立編程）

• 旋轉(zhuǎn)功能：順時(shí)針及逆時(shí)針?lè)e液旋轉(zhuǎn)

• 顯示屏：（可拆卸）彩色觸摸屏，帶可自定義圖標(biāo)

• 排水接口：標(biāo)準(zhǔn) 1 英寸接口

• 電機(jī)控制器：精密數(shù)字控制器（最大 1500 轉(zhuǎn) / 分鐘）

• 泵組模塊：獨(dú)立模塊，內(nèi)置 6 個(gè)蠕動(dòng)泵